蝕刻和光刻是芯片行業(yè)中常見的兩種加工工藝,有的網(wǎng)友會(huì)把蝕刻和光刻混淆,其實(shí)這兩種加工的區(qū)別還是很大的。下面我們來了解一下兩者之間的工作原理和區(qū)別之處。
蝕刻分為兩種,一種是干刻,一種是濕刻。濕刻是目前蝕刻行業(yè)的常用的方式,故名思議,濕蝕刻過程中有化學(xué)溶液液體加入。干刻則是通過等離子氣體代替化學(xué)溶液對(duì)加工件進(jìn)行腐蝕。
光刻的原理是在制作好的硅圓表面涂上光刻膠,再通過紫外光、深紫外光、極紫外光等光線透過掩膜照射到硅圓表面,因?yàn)楣饪棠z的覆蓋,照射到的部分被腐蝕掉,沒有光照照射的區(qū)域則被留下了,留下的部分則是光刻加工完成的部件。
蝕刻和光刻的作用其實(shí)都是一樣的,都是通過媒介腐蝕去不需要的部分,留下需要的部分。但兩者之間的工藝流程和加工方式都不一樣,且蝕刻的加工材料范圍更廣,而光刻目前主要加工半導(dǎo)體、硅片等材料。用芯片加工來解釋,光刻是在芯片上面刻出電路圖,而蝕刻則是將光刻刻出的電路圖蝕刻出來。
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